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20101221广东工业大学硕士学位论文超精密单平面研磨机的研究与开发姓名：请学位级别：硕士专业：机械制造及其自动化指导教师：勇20090601摘要摘要目前，先进光电子产品的制造正朝着高精度、高性能、高集成度和高可靠性的方向快速发展，对许多光电子产品部件表面的局部平面度及全局平面度均自动上下料超声波研磨机文献综述.doc,92根据研磨及超声振动加下的特点，其设计应满足以下要求:(1)超声振动研磨装置.要能进行超声加工，研磨工具的振幅必须达到一定值以上，变幅杆大端的直径必须与换能器的端面直径相匹配。(2)超声振动研磨装置的研磨工具应设计合理，方便研磨膏的粘附和外径大小的调节。(3)超声振动研磨装置在使用过程中，由于负载发生变化其固有频率也随之发生变化，因此，为了使,